产品介绍
・用于捕集8吋和6吋硅晶片表面的挥发性成分（有机污染物）。(SW-8400)
・用于捕集12吋硅晶片表面的挥发性成分（有机污染物）。(SW-12400)
・捕集单面硅晶片挥发性气体，操作简便。
・加热炉采用倒悬方式，仅对晶片正面产生的气体进行捕集采样。
・加热炉最高可加热到500℃。
・加热炉封口采用O形环（聚亚胺材质）密封，无泄露。
・一般采用PAT(内容积10ml，填充2.5g Tenax GR)捕集气体。也可选用其他厂家的相应捕 集采样管进行采样。
・配备冷却水循环装置。
・配备防过热装置、联锁安全装置、急停按钮、漏水传感器（选配）等安全防范装置。
技术参数
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方式
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倒悬方式
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捕集硅晶片尺寸
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8"或6"，5"以下需添加扩充环（12400型，12"）
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O形环
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封口部直径220mm（聚亚胺）
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石英加热炉
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透明石英材质
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加热炉加热方式
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顶板・底板独立加热方式
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加热炉使用温度
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常用400℃（最高可达500℃）
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加热炉冷却
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冷却水循环装置
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保温管
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内表面惰性化镀层处理
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吹扫气
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通常用氮气，最大使用流量500ml/min
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防过热装置
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电流15A，感应电流30mA
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急停按钮
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红色，蘑菇型
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安全装置
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联锁结构
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加压方式
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电机驱动
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设备尺寸
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1140(W)×1106(H)×750(D)mm
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重量
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280Kg
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电源
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单相AC200V、15A・AC100V、20A
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标准附件：
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PAT（一级吸附管）：
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2支（与其它公司捕集管不配套）
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PAT架
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1个（与其它公司捕集管不配套）
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PAT适配器
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1个（与其它公司捕集管配套使用）
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O形环
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2个
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冷却水循环装置
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1台（附标准配管）
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保温管
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1支
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气体配管
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1套（1/16"-1/8"）
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缆线
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1套
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工具
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1套
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操作说明书
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1册
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*SW-12400型的技术规格请垂询。
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