可以进行8英寸或6英寸表面的挥发成分采集（SW-8400IIIDF）。

　　可以进行12英寸表面的挥发成分采集（SW-12400IIIDF）。

　　通过采集管进行采集，因此没有死体积，可以进行微量成分的检出。

　　只采集表面发生气体，背面发生气体通过真空泵排出。

　　可以实现最高500℃的加热

　　采用触控屏进行操作，控制非常简单。

　　脱气被PAT管（内容积10mL、Tenax GR）捕集。如果通过选配接口，也可以使用其他厂商的捕集管。

　　设备标配过热防止装置、舱门闭锁装置，紧急停止按键以及漏水感应器（选配）等安全装置。

　　同时有多段升温捕集、分流采集、样品管电子冷却等功能可供选配。

　　石英加热炉（倒悬）

　　石英加热炉采用倒悬方式，石英板完全罩住硅晶片(SW)，经石英板表面捕集气体。

　　吹扫气通过预热管线后，沿着固定在加热炉顶部的石英顶板外壁流动，从外围导入硅晶片中心表面。

　　硅晶片的背面用真空泵抽空，完全排出硅晶片背面产生的气体。